攻克光子芯片核心工艺陕西先进光子器件工程创新平台启用

陕西光电子先导院先进光子器件创新平台今日在西安全面启用。该平台具备光子芯片制程中的光刻、刻蚀、蒸镀等多项核心工艺，为光子产业孵化项目提供产品研发、中试、检测等全流程技术服务。同时，将有效解决第三代化合物半导体芯片制造的外延生长与制程等关键问题，为光电芯片、功率器件、射频器件等芯片设计企业、高校、科研院所提供外延生长、光刻、刻蚀、薄膜制备、清洗、减薄、抛光、划片等芯片制造全流程服务。中国科学院西安分院院长赵卫表示：“希望陕西光电子先导院先进光子器件创新平台启用后，能够吸引更多光子产业创新要素汇聚陕西，攻关一批引领未来的关键核心技术，培育一批具有先发优势和全球竞争力的光子产业冠军企业，推动光子产业进一步向集群化、规模化发展。”